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터보 분자 펌프 - turbo molecular pump
기술용어통 반디통 용어집
터빈 모양의 날개를 가진 고속회전 로터를 회전시켜, 날개에 충돌하는 기체 분자에 운동량을 주어 기체를 운송하는 기체운송방식 진공펌프. 분자가 흐르도록 해야하는 곳에서 유용하게 사용된다.
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