트라이어드형 RIE장치 - triode reactive ion etching system

웨이퍼를 놓은 한 쌍의 전극과는 별개로 제 3전극을 식각실내에 설치하여, 이 제 3전극의 전위를 독립적으로 제어하여, 식각특성을 제어하는 반응성이온 식각장치. 제 3전극은 부유전위로 하는 경우와 직류전압 또는 고주파전압을 인가하는 경우가 있다.