전실온 세정공정 - total room temperature wet cleaning process

전공정을 실온에서 처리할 수 있는 공정. (1)오존, HF, 게면활성제를 낮은 농도에서만 사용한다. (2)약액증기의 발생이 적고, 액관리가 불피요하여 배기량도 줄일 수 있다. (3)에너지와 자원을 줄일 수 있다. (4)환경대책이 용이하다는 등의 특징이 있다.