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전반산형광X선분석법 TXRF TRXRF - total reflection X - ray fluorescence analysis
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실리콘웨이퍼와 같은 평탄한 시료를 얕은 각도에서 X선을 입사시켜, 시료표면 위에 전반사 되도록하여, 시료표면의 원자만을 여기시켜, 시료표면의 불순물을 분석하는 방법.
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