쓰루더월구조 - through the wall structure

프로세스영역과 서비스영역을 구분하는 벽을 관통하여 설치할 수 있는 반도체제조장치의 구조. 웨이퍼의 반송 이 외에는 전부 서비스영역쪽에 가능한 구조로 되어있다. 베이(bay)시스템에 적합하며, 쉽고, 많이 이용되는 박막형성장치, 이온주입장치, 건식식각장치 등이 이 구조를 채용하고 있다.