쓰리웨이방식 - three - way

기술용어통 반디통 용어집
윗정반을 고정시키고 밑정반을 회전시켜, 윗정반과 밑정반 사이에 끼워넣은 유성기어(캐리어)가 정반 중심의 태양기어 주위에 위치하는 인터널기어(internal gear)에 서로 물려 자전하면서 공전하므로, 캐리어 속의 가공물에 네 방향으로 운동을 가하는 방식.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 래핑 three-way 쓰리웨이방식 래핑장치-형식

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