막두께제어 - thickness control

기술용어통 반디통 용어집
막 성장 공정 중에 막 두께 및 증착속도를 막두께측정기(수정발진식, 원자흡광식(吸光式), 광학식 등)에 의해 모니터링하여, 증착속도를 일정하게 유지하고, 원하는 막 두께가 되도록 제어하는 것.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 진공증착장치 박막형성장치 thickness control 막두께제어

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