다극 플라즈마 스퍼터링 장치 - thermoionic assisted multiode sputtering system

열음극방전을 이용한 스퍼터링장치. 열전자공급용 필라멘트. 대향애노드, 캐소드의 3극을 갖춘 3극플라즈마 스퍼터링장치와, 필라멘트 앞부분에 열전자제어용 그리드 전극을 첨가한 4극 플라즈마 스퍼터링장치가 있다.

기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 박막형성장치 thermoionic assisted multiode sputtering system 스퍼터링 장치 다극 플라즈마 스퍼터링 장치