스월 - swirl

기술용어통 반디통 용어집
성장무늬(striation) 부근에서 발생하는 미소결함들을 말한다. 원기둥모양 결정의 주변부에서 발생하는 것은 결정에 포함되어 있는 미량의 산소의 응집에 의한 것이라는 것은 명백하지만, 중심부분을 점유하는 것은 산소라든가 탄소 등의 불가피적으로 포함된 미량불순에 의한 것인가, 고온에서 열역학적으로 유입된 격자결함이 냉각과 함께 응집된 것인가는 명확하지가 않다.
기술용어통 category-bandi 특성용어 검사 웨이퍼제공정

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