계면활성제 첨가 세정약품 - surfactant added cleaning chemical

웨이퍼 세정처리를 할 때, 흡수성의 향상과 웨이퍼 표면의 미소굴곡(micro-roughness) 증대를 억제할 목적으로 계면활성제를 첨가한 세정용 약액. 범퍼(완충)불산(불산에 불화 암모늄을 혼합한 SiO2 식각액. BHF라고 줄여서 부른다.), 암모니아수, 콜린수용액이 사용된다.