표면파 플라즈마 - surface wave plasma

기술용어통 반디통 용어집
플라즈마의 표면에 유기된 표면파에 의해 주로 생성되는 플라즈마. 전형적으로는 유리관을 따라 생성된 길이가 긴 플라즈마. 최근에는 대면적플라즈마의 생성에 표면파 플라즈마를 적용하려는 시도도 있다. 또, 유전체선로로 전파되는 표면파의 누설 전기장에 의해 생성되는 플라즈파를 표면파 플라즈마라고 부르는 것도 있다.
기술용어통 category-bandi 건식식각장치 웨이퍼처리공정

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