표면청정도 - surface cleanliness

표면에 존재하는 미량의 오염물의 측정값. 표면의 깨끗한 정도를 나타낸다. 예를들면 입자오염은 1㎠당 소정의 입자보다 직경이 작은 입자의 부착물 수, 표면금속불순물은 1㎠당 불순물 원자수, 유기분자오염은 1㎠당 중량과 표면피복성 등으로 표시한다.