기판냉각 기구 - substrate cooling mechanism

기판온도의 상승을 막기 위해 시료대를 냉각수 등의 매체로 냉각시켜, 시료대 위의 기판을 간접적으로 냉각하는 기구. 냉각효율을 높이기 위해 기판 뒷면에 헬륨 등의 가스를 유입시키거나, 기판과 시료대와의 밀착성을 양호하게 하기 위해 기계적 또는 전기적으로 클램프(clamp)하는 경우도 있다.