연결정밀도 - stitching accuracy

한 개의 패턴이 두 개 이상의 도형으로 분할되어 묘화될 때, 인접하는 두 도형 사이의 상대적인 위치 정밀도. 패턴의 분할은 다음 세 개의 경우일 때, 행하여진다. (1)패턴이 필드 또는 프레임보다 큰 경우 (2)서브필드보다 큰 경우 (3)빔 사이즈보다 큰 경우