적층결함 - stacking fault

면결함의 하나로써, 한 개의 원자면 위에 틀린 순서로 적층되어 발생하는 결함. 즉 원래의 적층에 대하여, 한층 더 들어가던지, 또는 한층이 빠진 구조로 되어있다. 주고 결정성장 중에 발생하며, 특히 에피택셜성장한 Si 웨이퍼를 산소중에 가열한 표면에서 나타난다.