스퍼터링 장치 - sputtering system

진공 중에 방전용 가스를 충전하고, 전극 간에 전압을 걸어주면, 글로우방전이 발생한다. 이 때, 플라즈마 중에 양이온이 음극의 타겟 표면에 충돌하여, 타겟원자가 튀어 나온다. 이런 스퍼터링현상을 이용하여, 박막을 웨이퍼 표면에 형성하는 막형성장치. 방전용 가스로는 Ar등이 사용된다.