스핀 컵 - spin cup

기술용어통 반디통 용어집
스핀도포기에 있어서, 레지스트 도포 중에 웨이퍼를 둘러싸기 위해 설치된 원통모양의 용기. 도포 중의 배기와 레지스트의 반동을 고려하여 설계하고 있다. 스핀developer와 같은 모양의 컵이 설계되고 있다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 도포장치 레지스트 처리 스핀 컵 spin cup

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