스핀도포기 - spin coater

수평으로 된 웨이퍼 위에 레지스트를 한 방울씩 떨어뜨리고 웨이퍼를 회전시켜서, 웨이퍼 위에 균일한 레지스트막을 형성시키는 장치. 레지스트공급계, 스핀모터, 컵을 조합하여 구성된다. 회전수는 수천 rpm(1분에 수천 번 회전)까지 가능하다.