소스캐비넷 - source cabinet

기술용어통 반디통 용어집
산화장치, 열확산장치, CVD장치 등에 있어서, 산화막형성, 불순물확산, 박막형성의 반응에 필요한 소스(주로 가스)를 공급하기 위한 시스템을 넣어 두는 캐비넷. 가스배관, 밸브, 유량계측기(flow meter), 유량제어기(mass flow meter) 등이 수납된다.
기술용어통 category-bandi 산화장치 웨이퍼처리공정 산화

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!

해석 정확도를 높이고, 반복 작업을 줄여보세요.

내게 맞는 솔루션 찾기