고체증발원 - solid vaporizer

기술용어통 반디통 용어집
이온을 발생시킬 때, 이온원에 편입되어 이용되는 고체시료용 증발원. 시료는 히터에 의해 진공 중에서 수백。C로 가열되어, 증기로 된 플라즈마가 생성될 때에 도입된다. 주로 안전성의 관점에서 독성가스를 대신하여 사용되는 경우가 많다.
기술용어통 category-bandi 이온 주입장치 고체증발원 웨이퍼처리공정 도핑 solid vaporizer

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