소프트 베이킹 프리베이킹 - soft - bake pre

웨이퍼 위에 레지스트를 도포한 후, 도포막 속의 잔류용제를 증발시키고, 도포막과 웨이퍼의 밀착성을 강화하기 위해 실시하는 열처리. 노광 전에 실시하기 때문에, 폴리머가 중합되거나 첨가물의 열분해가 일어나지 않는 온도 이하에서 실시한다.