단면폴리싱기 - single side polishing machine

기술용어통 반디통 용어집
마운트판이라 불리우는 원판에 웨이퍼를 고정시키고 연마포를 부착한 회전정반에 압착시켜 연마하는 장치. 호칭으로서 연마정반의 직경을 인치로 표시하는 것과 마운트판의 직경을 표시하는 것이 있다.
기술용어통 category-bandi 단면폴리싱기 웨이퍼제공정 single side polishing machine 폴리싱 폴리싱장치

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