실릴화 처리장치 - silylation system

표층(表層) 이미지프로세스의 일종인 실릴화 프로세스를 하는 장치. 레지스트의 노광부 표층에 선택적으로 실리콘 함유영역을 형성한다. 실릴화 처리를 기상(氣相)하면 기상실릴화, 액상에서 하면 액상실릴화 프로세스라고 한다.