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시프터 - shifter

기술용어통 반디통 용어집
위상 시프트 마스크(PSM)에 있어서, 빛의 파장을 변화시켜 위상차를 발생시키는 물질. SOG, SiO2 등이 이용된다. 시프터 막의 두께d는 d=λ/2 (n-1) [λ:빛의 파장, n:시프터의 굴절률]일 경우에 위상은 180̊반전된다.
기술용어통 category-bandi 기본․공통 마스크제조공정 shifter 시프터