접시모양피트 - shallow pit saucer pit

무전위실리콘의 (111)면을 Sirtl 에칭할 때에, 전위피트와 다른, 밑이 얕은 접시모양의 에치피트로 보여지는 결함. 이 결함은 X선 토포그래피(topography)에 의하여는 콘트래스트를 만들지 못하기 때문에, 이 왜곡은 극히 미세한 영역 외에는 확산되지 않는다는 것이 고려되고 있다.