서비스영역 - service area

반도체장치본체가 설치되어 있는 구역. 장치에 공급되는 전기, 물 약품 등, 또는 배수, 배기 등의 배관, 덕트(duct)류가 설치된 백업영역도 있으며, 또 메인터넌스를 실시하는 작업영역도 있다. 웨이퍼가 이 영역의 공기에 직접 접촉하지 않기 때문에, 비교적 저청정도로 설정된다.