반건식배기처리장치 - semi dry type exhaust gas abatement equipment

수분의 보급을 필요로 하는 흡착재를 이용하여, 반도체제조장치 등에서 배출되는 유해가스를 무해화하는 장치. 건식과 같은 흡착재식이지만 수분이 필요하므로 반건식이라 부른다.

기술용어통 category-bandi 가스 설비․환경공정 가스공급시스템 semi dry type exhaust gas abatement equipment 반건식배기처리장치