SEM모니터 - SEM monitor

기술용어통 반디통 용어집
전자빔의 주사에 동기시켜서 CRT(브라운관)을 주사하면서 전자빔 주사에서 기판표면에서 발생하는 반사전자, 이차전자 등의 신호를 이용하여 CRT의 휘도를 변조함으로써, 기판표면의 확대상을 CRT위에 표시하는 장치.
기술용어통 category-bandi 노광․묘화장치 마스크제조공정 패턴형성장치

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