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SAC식각 - self - aligned contact etching

기술용어통 반디통 용어집
산화막과 마주보며 높은 선택비가 가능한 스토퍼(stopper)절연막을 이용하여, 배선층과 마주보며 자기정합적으로 콘택홀(contact hole)을 만드는 기술. 정렬부정합과 레지스트의 가공부정합이 있어도, 콘택홀 면적이 안정하게 확보될 수 있다.
기술용어통 category-bandi 건식식각장치 웨이퍼처리공정