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스카벤저 - scavenger

열산화장치, 열확산장치, CVD장치 등에 있어서, 반응로의 끝에 위치하며, 공정 가스와 열이 클리닝벤치(cleaning bench)쪽으로 확산되는 막기 위한 목적으로 반응관에 접속하는 부분.
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열해석 - thermal analysis

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