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주사형전자현미경 SEM - scanning electron microscope
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직경 수 nm의 전자빔이 계통적으로 시료의 위를 제거하고, 빔이 시료와 충돌하는 점에서 발생하는 이차전자와 반사전자의 강도를 일차빔 주사와 동기시켜 기록하는 전자현미경.
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