스캔빔전류 - scanned beam current

기술용어통 반디통 용어집
이온빔을 스캔하여 주입하는 경우의 빔전류량. 스캔할 경우, 이온빔은 이온주입장치의 마스크로 인해 제한되는 웨이퍼영역만 도달하므로, 스폿 모양으로 조사(照射)하는 것보다 적은 전류량이 된다.
기술용어통 category-bandi 이온 주입장치 웨이퍼처리공정 도핑 scanned beam current 스캔빔전류

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