러더퍼드후광산란분광법 RBS - Rutherford back - scattering method

기술용어통 반디통 용어집
MeV 영역의 높은 에너지이온을 시료표면에 조사하고 후광산란된 이온의 에너지스펙트럼을 측정하여, 표면에서의 깊이의 함수로써 여러 가지 원소의 농도를 결정하는 방법.
기술용어통 category-bandi 물성검사장치 검사 웨이퍼제공정 러더퍼드후광산란분광법 RBS Rutherford back- scattering method

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