회전주입 - rotational implanter

기술용어통 반디통 용어집
웨이퍼가 면의 중심을 축으로 하여 회전하면서 이온을 주입하는 것. 이온주입 중에 웨이퍼가 회전하지 않고, 이온을 일정량 주입한 후, 웨이퍼가 일정각도를 회전한 후 다시 이온주입을 계속하는 것을 스텝회전주입이라고 한다.
기술용어통 category-bandi 이온 주입장치 웨이퍼처리공정 도핑

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!

해석 정확도를 높이고, 반복 작업을 줄여보세요.

내게 맞는 솔루션 찾기