회전 지그 - rotary and revolution

진공증착장치에 있어서, 사용된 웨이퍼 고정기구(jig)의 하나. 증발원에 대해, 여러 개(보통 3개)의 돔 모양의 웨이퍼 고정기구를 배치하고, 증착 중에 각 돔이 자전과 공전을 하여, 넓은 면적을 통해 균일한 막을 얻을 수 있으며, 단차피복성(step coverage)이 뛰어나다.