해상도 분해선폭 분해능

기판 위의 폭, 간격이 동일한 선폭레지스트 패턴을 형성할 때의 실용적인 최소선폭인데, 밑의 수식으로 구할수 있다. C1127 : 계수 : 파장 : 개구수 이 0.5일 경우를 한계해상도로 취급하지만, 일반적으로은 양산(量産)라인에서 0.7, 연구레벨에서 0.6을 이용하고 있다.