레지스트 막두께분포 레지스트막 균일성

웨이퍼 위에 도포된 레지스트 막의 두께의 부정합 정도. 웨이퍼 위에 주변 가장자리(예를 들면, 외주(外周) 2～5㎜ 등)을 제외한 여러 곳의 막두께를 측정해여 평균값, 오차 등으로부터 다음과 같이 표현한다. C1039 C1039-2 C1039-3 웨이퍼균일성; 웨이퍼간 비교. 라트(lot)내 균일성; 동일라트내 비교 라트간 균일성; 다른 라트간 비교등에 활용되고 있다.