레지스트 내열성 - resist thermal stability

웨이퍼 위에 레지스트 패턴을 형성할 때, 이 패전의 단면 형상이 이후의 열에 의해 어느 정도 초기의 상태를 유지할 수 있는냐를 표시하는 것. “내열성이 좋다, 내열성이 있다, 내열성이 높다”하는 것으로 고온까지 패턴 형상이 보존된다는 것을 표시한다.