레지스트 박리액 - resist stripper

기술용어통 반디통 용어집
레지스트를 습식박리제거하는 용액으로 아세톤, SC-1, SC-2, 유기용 등이 사용된다. 레지스트를 산화하여 제거하는 무기물계 박리액과, 레지스트를 팽창시켜 제거하는 유기물계 박리액으로 크게 구분된다.
기술용어통 category-bandi 애싱장치 웨이퍼처리공정 레지스트 처리 resist stripper 레지스트 박리액

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