레지스트레이션 마스크중복정밀도 - registration mask overlay accuracy

기술용어통 반디통 용어집
각 공정 사이에서의 마스크 또는 레티클의 패턴 위치의 상대적 위치 오차. 묘화장치에서 마스크 또는 레티클의 패턴을 묘화시킬 때의 피치(pitch)정밀도 또는 치수정밀도에 기인한다.
기술용어통 category-bandi 기본․공통 마스크제조공정 레지스트레이션 마스크중복정밀도 registration mask overlay accuracy

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