각 포토마스크간 패턴의 상대위치정밀도를 측정(비교검사). 일반적인 디바이스(IC)에 대해 십수 매(枚) 이상의 포토마스크를 필요로 하기 때문에, 각 마스크의 중복 정밀도가 중요하게 된다. 종래에는 비교현미경(마스크비교기)이 사용되어 오다가, 현재에는 패턴의 좌표위치를 절대측정하는 광파간섭식 좌표측정기가 사용되고 있다.
기술용어통category-bandi검사장치registration inspection마스크제조공정이물․외관검사장치레지스트레이션 검사
