반사율 - reflectance reflectivity

입사광 강도에 대한 반사광 강도의 비율. 스테퍼 전사(轉寫)시에 마스크 면에서의 반사광인 미광(迷光, stray light)이 전사된 패턴에 영향을 미치는 것을 막기 위해, 전사광의 파장(g선, i선 등)에 대해 각각 반사율이 낮은 저반사 코팅(coat)층을 구비한 구조(2층, 3층)의 마스크가 이용되고 있다.