리던던트 메모리 리페어시스템 - redundant memory repair system

반도체 웨이퍼 위에 형성된 LSI, VLSI 등의 칩의 불량을 구제하기 위하여, 각 칩의 필요한 곳에 레이저빔을 자동적으로 조사하여, 칩 내에 미리 만들어wu 있는 불량구제용 용장(redundant)회로를 접속가능하도록 하는 장치.

기술용어통 category-bandi 사공정 레이저리페어 장치 리던던트 메모리 리페어시스템 redundant memory repair system