재생웨이퍼 - reclaim wafer

반도체소자제조공정에 투입되었으나, 도중에 불량판정을 받거나 테스트에 사용된 웨이퍼를 다시 웨이퍼가공공정으로 흘려, 표면의 소자가 형성된 부분을 제거하고, 다시 거울면에 재생시킨 웨이퍼. 주로 테스트피스(test piece)로써 재이용된다.