반응실 성장실 리액터 - reaction chamber deposition chamber reactor

기술용어통 반디통 용어집
CVD장치, 에피택셜 성장장치에 있어서 박막을 형성하는 곳. 웨이퍼, 웨이퍼홀더, 서셉터 등을 수납하고, 특히 고순도의 석영으로 만들어진 관 모양의 것은 반응관이라고 부른다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 박막형성장치 reaction chamber deposition chamber reactor 반응실 성장실 리액터

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