레이즈드 플로어 - raised floor

반도체제조장치에 공급되는 전기, 가스, 물, 약품 등 및 제조장치에서 배출되는 배수, 배기 등의 배관, 덕트 등을 작업대바닥 밑에 설치할 수 있는 이중바닥구조. 이중바닥공간을 환기 플레넘챔버로써 이용하는 경우가 많다.