RF형 가속기 RFQ형 가속기 - radio frequency linac(linear accelerator) radio frequency quadrapole accelerator

기술용어통 반디통 용어집
이온원에서 인출한 이온을 고주파를 이용하여 가속하는 방식의 이온주입장치. 대지전위의 짧은 빔램프 중에서, 비교적 낮은 전압의 RF로 여러 번 반복한 이온을 가속하여 MeV급의 고에너지 이온을 생성한다. 여러 개의 RF공동(cavity)을 직렬로 배치한 RF선형가속방식과 하나의 4중극(重極) 중에서 이온의 가속과 수속(收束)을 되풀이한 RFQ형이 있다.
기술용어통 category-bandi 이온 주입장치 웨이퍼처리공정 도핑

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