단면균열 - radical temperature uniformity

열산화장치, 열확산장치, CVD장치 등에 있어서, 반응로의 임의의 단면에서 온도분포의 균일성. 단면온도의 균일성은 웨이퍼의 면내온도균일성에 직결되기 때문에, 예를 들어 CVD막 성장에서는 최고로 중요한 요소중에 하나이다.