복사차폐 - radiation sheild

기술용어통 반디통 용어집
쵸크랄스키법으로 결정성장시킬 때, 성장결정을 포위하는 용융액. 도가니 및 히터로부터의 복사열을 차단하는 기구. 용융액내 대류의 경감, 분위기 가스의 정류화, 인상결정의 온도 균배제어 등의 효과가 있다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 단결정제조 단결정제조장치-하드웨어기능 복사차폐 radiation sheild

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