근접효과 - proximity effect

기술용어통 반디통 용어집
전자빔이 기판을 형성하는 물질 안에서 산란할 때, 현상 후의 레지스트 패턴 형상이 왜곡되는 현상. 일반적으로, 패턴 간극을 좁게 하면, 이 효과가 더욱더 현저하게 나타나므로, 이런 이름이 붙었다.
기술용어통 category-bandi 노광․묘화장치 근접효과 마스크제조공정 패턴형성장치 proximity effect

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